行星齿轮传动装置的重量，一般情况下正比于齿轮的重量，而齿轮的重量与其材料和热处理硬度有很大关系。由于行星齿轮减速机结构的特殊性，一般市面上都广泛采用硬齿面齿轮。一般来说，会通过表面淬火、整体淬火、渗碳淬火、渗氮等方式获得硬齿面齿轮。
1、表面淬火
一般来说，表面淬火的方式有两种，分为*频淬火和火焰淬火。*频淬火主要用于*尺寸齿轮，火焰淬火常用于大尺寸齿轮
2、渗碳淬火
渗碳淬火的承载能力相对较大，但是就加工工序来说，比较复杂，必须采用精加工工序来消除热处理变形，从而保证齿轮的精度
3、渗氮
采用渗氮可保证轮齿在变形**的条件下达到很*的齿面硬度和耐磨性，热处理后可不再进行*后的精加工，提*了承载能力。这对于不易磨齿的内齿轮来说，具有特殊意义。
4、相啮合齿轮的硬度组合
当大、*齿轮均为软齿面时，*齿轮的齿面硬度应*于大齿轮。而当两轮均为硬齿面且硬度较*时，则取两轮硬度相同。
选择好的行星齿轮减速机材料，有利于提*齿轮减速机的承载力及使用寿命。