齿轮是精密行星减速机中重要的组成部分，齿轮的传动可完成减速、增速或改变方向等功能。它在各种传动机械设备及整个机械领域的应用范围及其广大。由于齿轮在设备中作用不同，因而有多种齿轮类型和尺寸，但总体可分为齿圈和轮体两个部分。齿轮的制造精度关乎于整个行星齿轮减速机的工作性能、承载能力和使用寿命。提高行星齿轮使用系数,须了解以下几点。
1.齿轮的材料的选择
齿轮应按照减速机的工作条件选用合适的材质，齿轮材料的选择对齿轮的加工性能和使用寿命都有直接的影响，精密行星减速机齿轮材料一般会选用钼钒合金钢，可利于增加齿轮的耐磨度和耐冲击性。
2. 运转精度
要求行星轮能准确地传递运动，传动比恒定，即要求齿轮在转动一圈中，转角误差不_过制定范围，使齿轮精度等级达到JIS2级。
精密行星减速机 
3. 接触精度
齿轮在传递动力时，由于冲击载荷分布不均匀使接触应力过大，可造成齿轮磨损加快，进而要求行星轮在工作时齿面接触要均匀，而且有定量的接触面积和符合要求的接触位置。
4. 齿侧间隙
齿面于非工作面之间保留定量间隙，以储存润滑脂，补偿因温度、弹性变形所引起的尺寸变化和加工、装配时的一些误差。
5. 工作平稳性
行星减速机运转平稳，无振动和低噪音，这_要求限制齿轮转动时瞬时速比的变化要*，也_是要限制短周期内的转角误差。
6、齿轮的热处理
     齿形加工后，为提高齿面的高刚性和耐磨度，须进行渗碳淬火、高频感应加热淬火、碳氮共渗和渗氮等热处理工序，使行星齿轮基材硬度达到30HRC，和齿轮表面的硬度氮化至840HV，确保使用性能 。
综上所述，了解齿轮的加工工艺对于整台精密行星减速机的使用性能有着很大的影响，要严格执行标准化加工步骤，提高行星减速机使用之稳定系数。