1、伺服行星减速机的角度传达误差（也叫运动误差/运动精度）：
角度传达精度表示在输入端施加任意转角时，理论旋转输出的角度和实际旋转输出的旋转角度之差。什么样的设备对行星减速机的角度传达误差有要求呢：单一方向，持续运转的设备对角度传达误差有要求，比如模切机/印刷机的拉料系统。
2、伺服行星减速机的重复定位精度：
重复定位精度是指重复7次在任意位置上同向定位，测定输出轴的停止位置，求*大差。测定值用角度表示，表示为±*大差的1/2。对此精度指标有要求的设备有：激光切割机/木工机械等龙门式结构做往复运动的设备。
3.伺服行星减速机的回程间隙：
也称作背隙，单位：弧分（arcmin），指减速机输出轴与输入轴的*大偏差角，将行星减速机的输入端固定，使输出端顺时针和逆时针方向旋转，当输出端承受正负2%额定扭矩时，减速机输出端有一个微*的角位移，此角位移即为回程间隙，背隙出厂初始值为3弧分以下（p0精度特殊品1弧分以下）。